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SemiAnalysis:闪存制造正“由钨转钼”
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8 月 23 日,半导体行业研究机构 SemiAnalysis 在 X 平台发布系列推文,阐述 3D NAND 闪存制造从钨(Tungsten,W)向钼(Molybdenum,Mo)转型的技术逻辑。

3D NAND 大约十年前就停止了横向缩小,转而靠垂直堆叠层数来提升存储密度。但当层数突破约 300 层后,连接每个存储单元的钨字线(word lines)遭遇了物理瓶颈:电阻过高、基于氟的化学工艺导致漏电,以及在超深孔中无法完成有效填充。

SemiAnalysis 在推文表示:" 钼不是一种优化,是 300 层以上 NAND 的必选项。"

与钨相比,钼具备三项关键优势:更低的电阻(带来更快的读写速度)、无需氟基化学工艺,以及在高深宽比结构中更好的填充能力。这三点恰好对应钨在深层堆叠中暴露出的三个核心缺陷,使得材料替换具有技术必然性,而非可选的工程改进。

行业现状:量产仍在 2xx 层,转折点已至

SemiAnalysis 梳理了当前各大厂商的层数位置:铠侠 / 闪迪(Kioxia/SanDisk)处于 218 层,美光(Micron)276 层,三星(Samsung)286 层,SK 海力士以 321 层处于行业前沿。

向 3xx 至 4xx 层的跃迁正在启动。SemiAnalysis 估计,钼在 NAND 总产能中的占比将从 2025 年的中个位数百分比,增长至 2027 年的约 30%。

三大厂商全面押注

主要 NAND 制造商均已明确承诺转向钼工艺,时间表清晰:

三星是先行者,钼字线产品自 2024 年起已进入量产阶段。

美光于 2025 年在 Lam Research 的 ALTUS Halo 设备上启动大规模量产。

SK 海力士计划于 2026 年底推出采用钼工艺的 375 层 NAND。

设备商:超 10 亿美元的新增市场

每一次从钨到钼的转换,都意味着需要新的沉积设备。SemiAnalysis 估计,仅 2027 年一年,NAND 钼沉积设备的销售额就将超过 10 亿美元,并随着 DRAM 和逻辑芯片的跟进,到 2030 年增长至约 20 亿美元 / 年。

受益格局方面,Lam Research 最先获益,TEL(东京电子)紧随其后;AMAT(应用材料)、ASMI 及中国设备商 Naura(北方华创)则更多受益于后续 DRAM 和逻辑芯片的转型浪潮。SemiAnalysis 表示,完整的细分市场层面测算已纳入其前道设备(WFE)模型。

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