快科技 5 月 29 日消息，荷兰 ASML 公司不仅独占了全球 EUV 光刻机，在 DUV 光刻机中也成为主力，这方面已经完全超越了曾经的霸主日本，但尼康并不打算放弃，现在要跟 ASML 打价格战。

尼康 CEO 大村康弘日前在采访中表示，公司正在尝试提供价格低于 ASML 的方式来赢得新的 ArF 光刻机订单。

尼康也有打价格战的本钱，大村康弘表示尼康能在成本上与之竞争，因为他们可以自产许多零部件。

目前尼康正在跟亚洲及美洲的主要芯片制造商进行谈判，已经接近达成采购订单了。

ArF 光刻机是 DUV 光刻机中的一种，而且是当前比较高端的范畴，193nm 波长，有干式和沉浸式两种类型，又以后者为高端，ASML 当前主力型号 1980i、2000i 就是这个级别的，也是国内这几年进口最多的光刻机类型。

ArF 光刻机配合多种技术之后可以量产 7nm 级的工艺，即便是 EUV 光刻机量产多年之后，芯片生产中依然需要 ArF 光刻机，因为不是所有的芯片层都要用 EUV 光刻，不然成本就太高了。

日本的佳能、尼康不仅是相机巨头，曾经也是光刻机中的大腕，地位一度比 ASML 都高，Intel 公司早些年就采购了大量尼康的光刻机，占比一度高达 80%。

不过讽刺的是或许就是对日系光刻机的依赖太多，导致 Intel 错过了 DUV 到 EUV 的升级转换，反而让他们在这十年来落后于台积电了。

不过尼康的 ArF 光刻机依然有可取之处，自身就有光学镜头研发，CD 均匀性方面表现一直很好，而且现在打价格战，20-30% 的低价意味着能节省大量投资，很适合晶圆厂作为 ASML 光刻机的低配版搭档使用。