根据 wind 数据，半导体设备 ETF（159516）盘中净流入 1.4 亿份，资金抢筹布局。

华创证券表示，需求、政策与外部环境共振，国产替代迎来追赶窗口期。2024 年中国已成为全球最大光刻机采购市场，贡献 ASML 营收 41%。当前中国光刻机高端机型依赖进口，国产化进度势在必得。政策端 "02 专项 " 体系化布局曝光光学、双工件台、浸液系统等核心环节，推动国产技术快速迭代，上海微电子、华卓精科等已在 90nmArF 机型与双工件台实现突破。未来在政策、需求与验证三重驱动下，国产光刻机有望进入商业化加速阶段。

半导体设备 ETF（159516）跟踪的是半导体材料设备指数（931743），该指数聚焦于半导体产业链中的材料与设备领域，从市场中选取涉及半导体材料供应及设备制造的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体行业上游关键环节相关企业的整体表现。该指数成分股具备高技术壁垒和成长性特征，是衡量半导体产业健康状况的重要指标之一。

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