证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 用于金属填充质量检测的测试结构和测试方法 ",专利申请号为 CN202411738884.0,授权日为 2025 年 4 月 1 日。
专利摘要:本申请公开了用于金属填充质量检测的测试结构和测试方法,该测试结构包括多个测试单元,测试单元包括第一金属层、第二金属层和金属连接通道,其中,第一金属层和第二金属层通过金属连接通道连接;第二金属层位于第一金属层的上方,第二金属层和金属连接通道通过金属填充一体成形且采用电化学电镀工艺进行金属填充;不同的测试单元中第二金属层的周长不同,通过测试单元电阻值的测试来检测不同的测试单元中金属填充的质量。本申请通过改进测试结构实现了多种具有不同金属填充质量的工艺窗口的同时检测,从而能够较为便捷地确定采用电化学电镀工艺进行金属填充时的最优窗口。
今年以来晶合集成新获得专利授权 88 个,较去年同期增加了 37.5%。结合公司 2024 年中报财务数据,2024 上半年公司在研发方面投入了 6.14 亿元,同比增 22.27%。
数据来源:天眼查 APP
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