ASML（阿斯麦）与 IMEC宣布签署了一项新的战略合作协议，专注于研究和可持续发展。该协议为期五年，旨在通过整合 ASML 和 IMEC 各自的知识和专长，在两个领域提供有价值的解决方案：一是开发促进半导体行业发展的解决方案；二是制定专注于可持续创新的计划。

在这次合作中 ASML 整合了整个产品组合，重点是开发高端节点，使用 ASML 系统，包括 0.55 NA EUV、0.33 NA EUV、DUV 浸没、YieldStar 光学计量和 HMI 单光束和多光束技术。这些工具将安装在 IMEC 最先进的试验线中，并纳入到欧盟和比利时政府资助的 NanoIC 试验线，为国际半导体生态系统提供最先进的 2nm 以下工艺的研发基础设施。研发的重点领域将包括硅光子学、存储和先进封装，为未来基于半导体的 AI 应用在多元化市场中提供全栈创新。

双方的这次合作还有一个新领域，就是为 IMEC 研究渠道中的创新理念和活动提供重大资助，这些创新理念和行动带来了环境和社会效益。ASML 首席执行官 Christophe Fouquet 表示，与 IMEC 的新协议标志着双方之间长期合作的下一步，表明了为为半导体行业开发解决方案的雄心壮志，这符合 ASML 投资于技术和创新的战略，将造福整个社会。

IMEC（Interuniversity Microelectronics Centre）成立于 1984 年，位于比利时王国弗拉芒区鲁汶，是目前欧洲领先的独立研究中心，研究方向主要集中在微电子，纳米技术，辅助设计方法，以及信息通讯系统技术（ICT）。