英特尔拿到的ASML高数值孔径EUV已投入生产

钛媒体快报 02-25

钛媒体 App 2 月 25 日消息，英特尔周一表示，去年率业界之先接收的两台 ASML 高数值孔径极紫外光 EUV 已投入生产。英特尔资深总工程师卡森表示，ASML 这两台尖端机器已生产了 3 万片晶圆。

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