证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示扬杰科技(300373)新获得一项实用新型专利授权,专利名为 " 避免打火现象的高压碳化硅产品 ",专利申请号为 CN202323515553.4,授权日为 2024 年 9 月 17 日。
专利摘要:避免打火现象的高压碳化硅产品,涉及半导体技术领域。本实用新型中沟槽刻蚀区可以和对准标记图形同一层光刻板制作,不增加工艺复杂度和制造成本。芯片边缘刻蚀沟槽使得 P 区注入结深增加,在器件反向加压测试时时,使得背面电极的等势面不再划片道表面,由于刻蚀形成的深 PN 结在反向耗尽时,其电场梯度几乎全部转移到耗尽区内,划片道表面电势将被极大限度的拉低,两者之间的电势差根本不足以激发空气电离,从未避免上述打火现象的发生。并且,刻蚀后形成的 PN 结深更深,电场梯度转移到更深的外延层内,终端至划片道可以设计的更小,从而提高晶圆利用率,降低成本。
今年以来扬杰科技新获得专利授权 69 个,较去年同期增加了 86.49%。结合公司 2024 年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了 1.97 亿元,同比增 19.31%。
数据来源:天眼查 APP
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