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俄罗斯绕过制裁 为35年前的光刻机续命:自研光刻机已亮相
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快科技 9 月 9 日消息,据国外媒体报道称,俄罗斯近日绕过了制裁,为本国存在了 35 年的光刻机续命。

报道中提到,尽管欧洲制裁禁止向俄罗斯实体出售任何高科技机器,但俄罗斯公司仍在 2022 年和 2023 年成功获得了 ASML 1990 年代芯片制造机器的备件。

俄罗斯进口商已经想方设法为 ASML 的 PAS 5500 光刻工具引进了至少 170 批备件,而 ASML 则表示,近年来没有销售产品或与俄罗斯分销商有任何往来。

ASML 的 PAS 5500 系列 200 毫米光刻工具最初于 1991 年推出,并在 20 世纪 90 年代和 2 世纪初不断发展。如今,PAS 5500 系列包括 i-line、氟化氪(KrF)步进机以及 i-line、KrF 和氟化氩(ArF)步进扫描系统。

虽然 ASML 不再生产这些光刻工具,但它销售翻新的 PAS 5500 机器,并计划将其支持到 2035 年,因此市场上有大量的备件,尤其是在中国。

不过俄罗斯也根本没啥怕的,在这之前他们首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。

俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里 - 什帕克指出,该设备可确保生产 350nm 的芯片。

在俄罗斯看来,尽管 350nm 的芯片技术相较之下显得落后,但它在汽车、能源和电信等诸多行业中仍有着应用价值。

俄罗斯已经表示,计划到 2026 年实现 65nm 的芯片节点工艺,2027 年实现 28nm 本土芯片制造,到 2030 年实现 14nm 国产芯片制造。

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