证券之星 08-21
晶盛机电获得发明专利授权:“一种抛光设备及方法”
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证券之星消息,根据天眼查 APP 数据显示晶盛机电(300316)新获得一项发明专利授权,专利名为 " 一种抛光设备及方法 ",专利申请号为 CN202410737627.9,授权日为 2024 年 8 月 20 日。

专利摘要:本申请涉及半导体加工领域,尤其是涉及一种抛光设备及方法,抛光设备包括:上料室,所述上料室用于抛片上料;加工室,所述加工室用于抛片加工,所述加工室与所述上料室连通;下料室,所述下料室用于抛片下料,所述下料室与所述加工室连通;以及传动机构,所述传动机构设置于所述上料室与所述加工室之间、所述加工室与所述下料室之间,所述传动机构用于所述上料室向所述加工室输入抛片、所述加工室向所述下料室输出抛片;其中,所述上料室设置有第一气压,所述加工室与所述下料室设置有第二气压,所述第一气压大于所述第二气压。解决了 CMP 设备空间内的颗粒污染的技术问题,达到降低 CMP 设备空间内的颗粒污染的技术效果。

今年以来晶盛机电新获得专利授权 95 个,较去年同期减少了 14.41%。结合公司 2024 年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了 6.11 亿元,同比增 1.92%。

数据来源:天眼查 APP

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