曾几何时尼康也是光刻机巨头,但进入深紫外 DUV 光刻机时代后,ASML 阿斯麦独占了全球光刻机市场 8 成份额,为了抢夺份额,尼康要打价格战了。
根据《日经新闻》报道,尼康新任 CEO 大村泰弘表示,尼康要与 ASML 在深紫外(DUV/ArF)光刻机领域打价格战,抢夺市场份额—— " 我们可以打价格战,即便降价销售,依旧能够保证可观的利润。" 同时他还表示,尼康优势在于零部件高度自主生产,能够形成成本优势,目前公司正在与美洲、亚洲多家主流芯片制造商展开谈判,争取 ArF 光刻机新订单。
大村泰弘是今年 4 月份上任尼康 CEO,同时是尼康代表董事、社长,是在 1992 年加入尼康,2016 年任半导体装置事业部开发统括部 光学设计部长,2017 年升任光学本部长。在此前他曾坦言 ArF 光刻机业务上过分依赖英特尔订单,未能在其他客户群体中建立良好口碑。除了光刻机上打价格战,大村泰弘上任后还有一个大动作,出售 MRMC 给一家英国投资公司。
NSR-S333F
目前尼康最新一代光刻机是 NSR-S333F,这是一款 ArF(氟化氩)扫描式光刻机,于去年 9 月发布,计划在今年下半年上市,结合了 ArF 液浸式光刻机的平台与 "NSR-S322F" 的光学系统,按照尼康官方介绍这款机器能够每小时处理 300 片以上晶圆(300 mm 晶圆、96shot),重合精度 MMO 更是小于 4nm。


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