投资界（ID：pedaily2012）11 月 5 日消息，据张通社报道，睿励科学仪器（上海）有限公司（以下简称 " 睿励科学仪器 "）宣布完成近 5 亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。所融资金主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。

睿励科学仪器成立于 2005 年，总部位于上海张江。公司致力于开发、生产和销售具有自主知识产权及核心技术的集成电路芯片制造工艺用的光学量检测设备。

2005 年，曾任全球大量检测设备企业研发科学家、研发经理的吕彤欣博士，回国创办了国内一家专注于集成电路生产前道工艺量检测设备开发的企业——睿励科学仪器。公司核心团队来自行业国际巨头，专业技术团队成员大都来自国际前两名的量检测设备企业以及国内著名光学技术类公司，拥有多项全自主研发的专利技术。

睿励科学仪器总经理杨峰表示：" 非常感谢投资方的认可与支持。我们将继续深耕集成电路芯片生产工艺检测设备市场，进一步丰富光学量测和光学缺陷检测产品系列，为实现集成电路前道工艺检测设备国产化全面替代的目标而努力。" 他指出，未来，睿励科学仪器将持续聚焦在光学量检测领域，完善膜厚量测、OCD 量测、缺陷检测，开发包括 OVL 的其他光学量检测设备。

中微半导体相关负责人表示：" 随着集成电路产业的快速发展，工艺检测设备的市场需求日益增长，国产化替代进口设备是大势所趋，睿励科学仪器在这方面具有巨大的发展空间和市场机会。随着新一轮融资的完成，我们期待睿励科学仪器能够进一步加速产品研发和市场拓展，巩固其在光学量检测领域的领先地位。中微半导体将继续提供全方位的支持，以促进睿励科学仪器的创新发展和持续成长。我们相信，通过双方的紧密合作，能为推动国内半导体产业链的自主可控和高质量发展做出更大的贡献。"

本轮融资领投机构金石投资相关负责人表示：" 量检测设备作为晶圆制造工艺的‘尺’，是工艺过程质量控制和保证产线良率‘看护人’，其国产化的自主突破对于国内半导体产业链具有重大的战略意义。睿励科学仪器团队深耕该领域近 20 年，拥有较强的技术优势、较高的业务专注度以及产品创新能力，是业内具有综合竞争实力的企业。我们期待与睿励科学仪器一同成长，为我国集成电路产业自主可控贡献力量。"

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